Super-Röntgen-Flächendichtemessgerät

Anwendungen

Die Messung ist auf eine Beschichtungsbreite von über 1600 mm anpassbar. Unterstützt Ultrahochgeschwindigkeitsscannen.

Kleine Merkmale wie Ausdünnungen, Kratzer, Keramikkanten können erkannt werden.

Produktdetail

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Messprinzipien

Wenn der Strahl auf die Elektrode trifft, wird er von der Elektrode absorbiert, reflektiert und gestreut, was zu einer gewissen Abschwächung der Strahlintensität nach der durchgelassenen Elektrode im Verhältnis zur einfallenden Strahlintensität führt, und sein Abschwächungsverhältnis ist negativ exponentiell zum Gewicht oder zur Flächendichte der Elektrode.

I=I_0 e^−λm⇒m= 1/λln(I_0/I)

I_0 : Anfängliche Strahlintensität

I: Strahlintensität nach der Sendeelektrode

λ: Absorptionskoeffizient des Messobjekts

m: Dicke/Flächendichte des Messobjekts

Ausstattungshighlights

Vergleich der Halbleitersensor- und Lasersensormessung

● Messung detaillierter Umrisse und Merkmale: Flächendichte-Umrissmessung mit Millimeterauflösung bei hoher Geschwindigkeit und Präzision (60 m/min)

● Ultrabreitenmessung: anpassbar auf Beschichtungsbreiten über 1600 mm.

● Ultraschnelles Scannen: einstellbare Scangeschwindigkeit von 0–60 m/min.

● Innovativer Halbleiter-Strahlendetektor zur Elektrodenmessung: 10-mal schnellere Reaktion als herkömmliche Lösungen.

● Angetrieben durch einen Linearmotor mit hoher Geschwindigkeit und Präzision: Die Scangeschwindigkeit ist im Vergleich zu herkömmlichen Lösungen um das 3- bis 4-fache erhöht.

● Selbst entwickelte Hochgeschwindigkeitsmessschaltungen: Die Abtastfrequenz beträgt bis zu 200 kHz, wodurch die Effizienz und Genauigkeit der Beschichtung im geschlossenen Kreislauf verbessert wird.

● Berechnung des Kapazitätsverlusts durch Ausdünnung: Die Punktbreite kann bis zu 1 mm betragen. Damit können detaillierte Merkmale wie Umrisse von Kantenausdünnungsbereich und Kratzer in der Elektrodenbeschichtung genau gemessen werden.

Software-Schnittstelle

Anpassbare Anzeige der Hauptschnittstelle des Messsystems

● Ausdünnungsflächenbestimmung

● Kapazitätsermittlung

● Kratzerbestimmung

Technische Parameter

Artikel	Parameter
Strahlenschutz	Die Strahlendosis in 100 mm Entfernung von der Geräteoberfläche beträgt weniger als 1 μsv/h
Scangeschwindigkeit	0-60m/min einstellbar
Abtastfrequenz	200 kHz
Reaktionszeit	＜0,1 ms
Messbereich	10-1000 g/m²
Spotbreite	1 mm, 3 mm, 6 mm optional
Messgenauigkeit	P/T ≤ 10 %Integral in 16 Sekunden: ±2σ: ≤±wahrer Wert × 0,2 ‰ oder ±0,06 g/㎡; ±3σ: ≤±wahrer Wert × 0,25 ‰ oder ±0,08 g/㎡;Integral in 4 Sekunden: ±2σ: ≤±wahrer Wert × 0,4 ‰ oder ±0,12 g/㎡; ±3σ: ≤±wahrer Wert × 0,6 ‰ oder ±0,18 g/㎡;