Super-Röntgen-Flächendichtemessgerät

Anwendungen

Messung geeignet für Beschichtungsbreiten von über 1600 mm. Unterstützt ultraschnelles Scannen.

Kleine Merkmale wie dünnere Stellen, Kratzer und Keramikkanten können erkannt werden.

Produktdetails

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Messprinzipien

Wenn der Strahl auf die Elektrode trifft, wird er von dieser absorbiert, reflektiert und gestreut, was zu einer gewissen Abschwächung der Strahlintensität nach dem Durchgang durch die Elektrode im Vergleich zur Intensität des einfallenden Strahls führt. Das Abschwächungsverhältnis ist negativ exponentiell mit der Gewichts- oder Flächendichte der Elektrode.

I=I_0 e^−λm⇒m= 1/λln(I_0/I)

I_0 : Anfangsintensität des Strahls

I: Strahlintensität nach der Sendeelektrode

λ : Absorptionskoeffizient des Messobjekts

m : Dicke/Flächendichte des gemessenen Objekts

Ausstattungshighlights

Vergleich der Messung von Halbleitersensoren und Lasersensoren

● Messung detaillierter Konturen und Merkmale: millimetergenaue räumliche Auflösung, flächendichte Konturmessung mit hoher Geschwindigkeit und hoher Präzision (60 m/min)

● Ultrabreite Messung: anpassbar an Beschichtungsbreiten von mehr als 1600 mm.

● Ultraschnelles Scannen: Einstellbare Scangeschwindigkeit von 0-60 m/min.

● Innovativer Halbleiter-Strahldetektor für Elektrodenmessungen: 10-mal schnellere Reaktionszeit als herkömmliche Lösungen.

● Angetrieben von einem Linearmotor mit hoher Geschwindigkeit und hoher Präzision: Die Scangeschwindigkeit wird im Vergleich zu herkömmlichen Lösungen um das 3- bis 4-fache erhöht.

● Selbstentwickelte Hochgeschwindigkeitsmessschaltungen: Die Abtastfrequenz beträgt bis zu 200 kHz, wodurch die Effizienz und Genauigkeit der geschlossenen Regelung der Beschichtung verbessert werden.

● Berechnung des Kapazitätsverlusts durch Materialausdünnung: Die Spotbreite kann bis zu 1 mm klein sein. Detaillierte Merkmale wie die Konturen von Ausdünnungsbereichen und Kratzer in der Elektrodenbeschichtung können präzise gemessen werden.

Softwareschnittstelle

Anpassbare Anzeige der Hauptschnittstelle des Messsystems

● Bestimmung der Ausdünnungszone

● Kapazitätsermittlung

● Bestimmung der Kratzer

Technische Parameter

Artikel	Parameter
Strahlenschutz	Die Strahlendosis in 100 mm Abstand von der Geräteoberfläche beträgt weniger als 1 μSv/h.
Scangeschwindigkeit	0-60 m/min einstellbar
Abtastfrequenz	200 kHz
Reaktionszeit	<0,1 ms
Messbereich	10-1000 g/m²
Punktbreite	1 mm, 3 mm, 6 mm optional
Messgenauigkeit	P/T≤10%Integration in 16 Sekunden: ±2σ: ≤±wahrer Wert×0,2‰ oder ±0,06 g/m²; ±3σ: ≤±wahrer Wert×0,25‰ oder ±0,08 g/m²;Integration in 4 Sekunden: ±2σ: ≤±wahrer Wert×0,4‰ oder ±0,12 g/m²; ±3σ: ≤±wahrer Wert×0,6‰ oder ±0,18 g/m²;