Super-Röntgen-Flächendichtemessgerät
Messprinzipien
Wenn der Strahl die Elektrode bestrahlt, wird der Strahl von der Elektrode absorbiert, reflektiert und gestreut, was zu einer gewissen Abschwächung der Strahlintensität nach der durchgelassenen Elektrode im Verhältnis zur Intensität des einfallenden Strahls führt und sein Abschwächungsverhältnis mit dem Gewicht negativ exponentiell ist oder Flächendichte der Elektrode.
I=I_0 e^−λm⇒m= 1/λln(I_0/I)
I_0: Anfangsintensität des Strahls
I: Strahlintensität nach der Sendeelektrode
λ: Absorptionskoeffizient des Messobjekts
m: Dicke/Flächendichte des gemessenen Objekts
Ausstattungs-Highlights
Vergleich der Halbleitersensor- und Lasersensormessung
● Messung detaillierter Umrisse und Merkmale: Millimetergenaue Flächendichte-Umrissmessung mit hoher Geschwindigkeit und hoher Präzision (60 m/min).
● Ultra-Breitenmessung: anpassbar an mehr als 1600 mm Beschichtungsbreite.
● Ultraschnelles Scannen: einstellbare Scangeschwindigkeit von 0–60 m/min.
● Innovativer Halbleiter-Strahlendetektor zur Elektrodenmessung: 10-mal schnellere Reaktion als herkömmliche Lösungen.
● Angetrieben durch einen Linearmotor mit hoher Geschwindigkeit und hoher Präzision: Die Scangeschwindigkeit wird im Vergleich zu herkömmlichen Lösungen um das Drei- bis Vierfache erhöht.
● Selbstentwickelte Hochgeschwindigkeits-Messschaltungen: Die Abtastfrequenz beträgt bis zu 200 kHz, wodurch die Effizienz und Genauigkeit der Beschichtung im geschlossenen Regelkreis verbessert wird.
● Berechnung des Verdünnungskapazitätsverlustes: Die Spotbreite kann bis zu 1 mm klein sein. Es kann detaillierte Merkmale wie Umrisse von Kantenverdünnungsbereichen und Kratzer in der Elektrodenbeschichtung genau messen.
Softwareschnittstelle
Anpassbare Anzeige der Hauptschnittstelle des Messsystems
● Bestimmung des Durchforstungsbereichs
● Kapazitätsermittlung
● Kratzerbestimmung
Technische Parameter
Artikel | Parameter |
Strahlenschutz | Die Strahlungsdosis in 100 mm Entfernung von der Geräteoberfläche beträgt weniger als 1 μsv/h |
Scangeschwindigkeit | 0-60 m/min einstellbar |
Abtastfrequenz | 200kHz |
Reaktionszeit | <0,1 ms |
Messbereich | 10-1000 g/㎡ |
Spotbreite | 1 mm, 3 mm, 6 mm optional |
Messgenauigkeit | P/T≤10 %Integral in 16 Sekunden: ±2σ: ≤±wahrer Wert×0,2‰ oder ±0,06g/㎡; ±3σ:≤±wahrer Wert×0,25‰ oder ±0,08g/㎡;Integral in 4 Sekunden: ±2σ: ≤±wahrer Wert×0,4‰ oder ±0,12g/㎡; ±3σ:≤±wahrer Wert× 0,6‰ oder ±0,18g/㎡; |