CDM integriertes Dicken- und Flächendichtemessgerät

Anwendungen

Beschichtungsprozess: Online-Erkennung kleiner Elektrodenmerkmale; häufige kleine Elektrodenmerkmale: Ausbleiben von Kontakten (kein Stromabnehmerleck, kleiner Grauunterschied zum normalen Beschichtungsbereich, Fehler bei der CCD-Erkennung), Kratzer, Dickenkontur des Ausdünnungsbereichs, AT9-Dickenerkennung usw.

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Produktdetail

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Messprinzipien

Prinzipien der Oberflächendichtemessung

Röntgen-/β-Strahlenabsorptionsmethode

Prinzipien der Dickenmessung

Korrelation & Lasertriangulation

Technische Testmerkmale von CDM

Szenario 1: Auf der Elektrodenoberfläche befindet sich ein 2 mm breiter Hohlraum/Mangel, und eine Kante ist dicker (blaue Linie, siehe unten). Bei einem Strahlfleck von 40 mm ist die Auswirkung der gemessenen Originaldatenform (orange Linie, siehe unten) deutlich geringer.

Szenario 2: Profildaten des dynamischen Ausdünnungsbereichs 0,1 mm Datenbreite

Softwarefunktionen

Technische Parameter

Name	Indizes
Scangeschwindigkeit	0-18 m/min
Abtastfrequenz	Oberflächendichte: 200 kHz; Dicke: 50 kHz
Bereich der Oberflächendichtemessung	Oberflächendichte: 10–1000 g/m²; Dicke: 0–3000 μm;
Messwiederholung Genauigkeit	Oberflächendichte: 16s-Integral: ±2σ: ≤±wahrer Wert * 0,2‰ oder ±0,06g/m²; ±3σ:≤±wahrer Wert * 0,25‰ oder +0,08g/m²; 4s-Integral: ±2σ: ≤±wahrer Wert * 0,4‰ oder ±0,12g/m²; ±3σ: ≤±wahrer Wert * 0,6‰ oder ±0,18g/m²;Dicke: 10-mm-Zone: ±3σ: ≤±0,3 μm; 1-mm-Zone: ±3σ: ≤±0,5μm; 0,1-mm-Zone: ±3σ: ≤±0,8μm;
Korrelation R2	Oberflächendichte >99 %; Dicke >98 %;
Laserpunkt	25*1400μm
Strahlenschutzklasse	GB 18871-2002 Nationaler Sicherheitsstandard (Strahlungsbefreiung)
Lebensdauer radioaktiver Quelle	β-Strahlung: 10,7 Jahre (Kr85-Halbwertszeit); Röntgen: > 5 Jahre
Reaktionszeit der Messung	Oberflächendichte < 1 ms; Dicke < 0,1 ms;
Gesamtleistung	<3 kW