Integriertes CDM-Dicken- und Flächendichtemessgerät

Anwendungen

Beschichtungsprozess: Online-Erkennung kleiner Elektrodenmerkmale; Gemeinsame kleine Merkmale der Elektrode: Feiertagsmangel (kein Leck am Stromkollektor, kleiner Grauunterschied zum normalen Beschichtungsbereich, Fehler bei der CCD-Erkennung), Kratzer, Dickenkontur des Verdünnungsbereichs, AT9-Dickenerkennung usw.

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Produktdetails

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Messprinzipien

Prinzipien der Oberflächendichtemessung

Röntgen-/β-Strahlen-Absorptionsmethode

Prinzipien der Dickenmessung

Korrelation und Lasertriangulation

Technische Merkmale des CDM-Tests

Szenario 1: Auf der Elektrodenoberfläche gibt es einen 2 mm breiten Feiertag/Fehlschlag und eine Kante ist dicker (blaue Linie, wie unten gezeigt). Wenn der Strahlfleck 40 mm groß ist, sieht der Einfluss der gemessenen Originaldatenform (orangefarbene Linie wie unten gezeigt) offensichtlich kleiner aus.

Szenario 2: Profildaten des dynamischen Ausdünnungsbereichs mit einer Datenbreite von 0,1 mm

Softwarefunktionen

Technische Parameter

Name	Indizes
Scangeschwindigkeit	0-18 m/min
Abtastfrequenz	Oberflächendichte: 200 kHz; Dicke: 50 kHz
Bereich der Oberflächendichtemessung	Flächendichte: 10~1000 g/m²; Dicke: 0~3000 μm;
Messwiederholung Genauigkeit	Oberflächendichte: 16s Integral: ±2σ: ≤±wahrer Wert * 0,2‰ oder ±0,06g/m²; ±3σ:≤±wahrer Wert * 0,25‰ oder +0,08g/m²; 4s Integral: ±2σ: ≤±wahrer Wert * 0,4‰ oder ±0,12g/m²; ±3σ: ≤±wahrer Wert * 0,6‰ oder ±0,18g/m²;Dicke: 10-mm-Zone: ±3σ: ≤±0,3μm; 1-mm-Zone: ±3σ: ≤±0,5μm; 0,1-mm-Zone: ±3σ: ≤±0,8μm;
Korrelation R2	Oberflächendichte >99 %; Dicke >98 %;
Laserpunkt	25*1400μm
Strahlenschutzklasse	Nationale Sicherheitsnorm GB 18871-2002 (Strahlungsausnahme)
Lebensdauer radioaktiver Stoffe Quelle	β-Strahlung: 10,7 Jahre (Kr85-Halbwertszeit); Röntgen: > 5 Jahre
Reaktionszeit der Messung	Oberflächendichte < 1ms; Dicke < 0,1 ms;
Gesamtleistung	<3kW